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100mA級大電流酸素イオン注入装置の開発 (イオン注入による素子分離技術--SIMOX技術 )
100mA級大電流酸素イオン注入装置の開発 (イオン注入による素子分離技術--SIMOX技術 )
1989
katutosi izumi
yasuhisa oomura
sadao nakazima
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