温調装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

【課題】 高応答、高出力で精密な温調が可能であり、大型化や高スループット化に対応した露光装置にも好ましく適用可能な温調装置を提供する。 【解決手段】 温調装置１００は露光装置本体の複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に温度制御した流体を供給するものであり、流体を冷却または加熱するための媒流体が流れる媒流体流路１３０を備える。媒流体流路１３０は複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に対応付けられた複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄを有する。複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に流体と媒流体とを熱交換するための熱交換器１１４ａ〜１１４ｄと、熱交換器１１４ａ〜１１４ｄを流れる媒流体の流量を制御する流量制御器１３５ａ〜１３５ｄとが配される。媒流体流路１３０には複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に対する媒流体の流入量を一定に保つための流量一定化手段（１５７、１５８、１５９、１６０）が設けられる。 【選択図】 図５