インクジェット吐出方法、パターン形成方法、および、パターン

2013 
【課題】残膜の制御(薄膜化、均一化)に必要な6pL以下の微滴吐出用ヘッドを使用した場合でも、適切に吐出可能で、該吐出方法を用いて得られたパターンが離型性に優れ、かつ、そのパターンが良好となる吐出方法の提供。 【解決手段】下記(a)〜(c)を満たす光硬化性組成物を6pL以下の液滴サイズで吐出することを含む、インクジェット吐出方法;(a)含フッ素材料を、前記組成物の4質量%以上の割合で含有する;(b)前記組成物の表面張力が、25〜35mN/mである;(c)沸点が200℃以下の溶剤の含有量が前記組成物の5質量%以下である。 【選択図】 なし
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