Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
CVD/ALDを用いたCu(Mn)/Co(W)配線システムの構築と3次元アトムプローブによるサブナノ構造・バリヤ性評価
CVD/ALDを用いたCu(Mn)/Co(W)配線システムの構築と3次元アトムプローブによるサブナノ構造・バリヤ性評価
2015
kouhei sima
yuan tu
yuu takamisawa
syuuzi simizu
yasuo simizu
takesi momose
kouzi inoue
kousuke nagai
yukihiro simogaki
Keywords:
Nanotechnology
Metallurgy
Materials science
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI
[]