Preparation and Microstructure of ZnO Fine Particles by Ultrasonic Spray Pyrolysis Method.

噴霧熱分解法を用いて, Zn (NO3) 2・6H2Oの水溶液を出発原料としてZnO微粒子の生成を行った.操作条件として, キャリアーガスを窒素または空気に変えて, 反応管の設定温度, キャリアーガスの流量, 噴霧液濃度を変えて粒子生成の制御を行った結果, 粒子径が0.3～1μmのウルツ鉱型ZnO微粒子を得た.実験結果より, 管設定温度およびキャリアーガスの流量は生成粒子の結晶性に影響し, 管設定温度が高いほど, またはキャリアーガスの流量が小さいほど, 生成粒子の結晶性は向上することがわかった.ただし, キャリアーガスが空気の場合は.高い管設定温度域において結晶性は低下した.また, 噴霧液濃度は粒子径に影響し.液濃度が高いほど.生成粒子径は増大した.さらに, 生成粒子の微細構造を電子顕微鏡により観察した結果, 一次粒子径は約20～100nmのもので, 中空状の凝集粒子であることがわかり, これにより本法における粒子生成機構が推論された.