Wässrige Dispersion, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung

Wasserige Dispersion, die ein Silizium-Aluminium-Mischoxid-Pulver mit Si-O-Al-Bindungen und 0,1 bis 99,9Gew.-% Al 2 O 3 enthalt und eine definierte Struktur aus amorphen Siliziumdioxidbereichen und kristallinen Aluminiumoxidbereichen aufweist. Sie kann hergestellt werden, indem man die zu dispergierenden Teilchen bei hohem Druck uber eine Duse entspannt und miteinander oder gegen Wandbereiche der Vorrichtung kollidieren last. Sie kann zum chemisch-mechanischen Polieren von Halbleitersubstraten eingesetzt werden.