多节点激光通信天线“一体式”SiC/Al轻量化摆镜

为了降低多节点激光通信天线的工作包络尺寸、提高二维摆镜的运动控制精度，避免镜体材料与支撑材料性能差异引起的面形改变，提出了一种包含支撑结构的一体式轻量化摆镜。采用高体分SiC/Al作为材料，进行了摆镜以及支撑结构的一体化设计，提高了摆镜面形的力、热稳定性，可直接连接转台俯仰轴座，使摆镜回转中心距镜面的距离缩短至20 mm。有限元分析表明，一体式摆镜基频为1 337 Hz，在（205）℃工作温度范围内，面形误差峰谷值（PV）优于0.121，面形误差均方根值（RMS）优于0.031。使用ZYGO干涉仪对摆镜的面形进行检测，结果表明在（205）℃温度范围内摆镜面形PV值优于0.163，RMS值优于0.029，满足激光通信天线对于摆镜面形/25（RMS）的指标要求。