Chambre de traitement avancé de multiples pièces à usiner

L'invention concerne un dispositif et un procede pour traiter des pieces a usiner dans un processus de traitement. Une chambre a multiples plaquettes definit un interieur de chambre comprenant au moins deux postes de traitement dans l'interieur de chambre de sorte que des postes de traitement se partagent l'interieur de chambre. Chaque poste de traitement comprend une source de plasma et un socle de piece a usiner pour soumettre une des pieces a usiner au processus de traitement utilisant sa source de plasma respective. La chambre comprend un agencement d'une ou plusieurs surfaces electriquement conductrices qui sont disposees de maniere asymetrique autour de la piece a usiner au niveau de chaque poste de traitement d'une maniere qui produit un niveau d'uniformite donne du processus de traitement sur la plus grande partie de chaque piece a usiner. Un agencement d'ecran fournit une uniformite d'exposition renforcee de la piece a usiner a sa source respective parmi les sources de plasma, qui est plus grande que le niveau donne d'uniformite qui serait fourni en l'absence de l'agencement d'ecran.