An apparatus for measuring a pressure difference, in particular a capacitive differential pressure sensor

2011 
Vorrichtung (1) zum Messen der Differenz zwischen einem ersten Druck (2) und einem zweiten Druck (4), insbesondere kapazitiver Differenzdrucksensor, wobei die Vorrichtung (1) zwei, eine gemeinsame Elektrode (10) aufweisende kapazitive Absolutdrucksensoren (20, 30) umfasst, und wobei eine erste Elektrode (12) eines (20) der beiden Absolutdrucksensoren (20, 30) infolge des ersten Drucks (2) und unabhangig vom zweiten Druck (4) gegenuber der gemeinsamen Elektrode (10) auslenkbar ist, und eine zweite Elektrode (14) des anderen (30) der beiden Absolutdrucksensoren (20, 30) infolge des zweiten Drucks (4) und unabhangig vom ersten Druck (2) gegenuber der gemeinsamen Elektrode (10) auslenkbar ist.
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