Plateau de maintien électrostatique pour applications rf à haute température

L'invention concerne un plateau de maintien electrostatique, qui comprend un palet presentant une surface d'appui servant a soutenir un substrat lorsqu'il est dispose sur celle-ci et une deuxieme surface opposee, une ou plusieurs electrodes de maintien etant encastrees dans le palet, un corps presentant une surface d'appui couplee a la deuxieme surface du palet pour soutenir le palet, un circuit de detection de tension continue dispose sur la surface d'appui du palet, et un inducteur dispose dans le corps et a proximite de la surface d'appui du corps, l'inducteur etant electriquement couple au circuit de detection de tension continue, et l'inducteur etant configure pour filtrer un flux de courant a haute frequence afin de mesurer precisement un potentiel continu sur le substrat.