Technik zum Erzeugen einer unterschiedlichen mechanischen Verformung durch Bilden eines Kontaktätzstoppschichtstapels mit unterschiedlich modifizierter innerer Verspannung

Durch teilweises Entfernen einer Atzstoppschicht vor der Ausbildung einer ersten Kontaktatzstoppschicht kann ein verbesserter Spannungsubertragungsmechanismus in einem Integrationsschema zum Erzeugen einer Verformung mittels Kontaktatzstoppschichten bereitgestellt werden. Somit kann ein Halbleiterbauelement mit unterschiedlichen Transistortypen bereitgestellt werden, wobei ein hohes Mas an Metallsilizidintegritat sowie ein auserst effizienter Spannungsubertragungsmechanismus erreicht wird.