진공시스템에서의 액체증기 정량 공급장치 및 이를 이용하는 방법

진공시스템에서의 액체증기 정량 공급장치 및 이를 이용하는 방법이 개시된다. 본 발명은, 히터와 연결되고 액체가 저장된 캐니스터와, 상기 캐니스터로부터 증발된 증기가 배관으로 통해 유입되는 진공장치를 포함하고, 상기 배관 상에는 캐니스터와 인접되어 장착되는 유량계측기; 상기 유량계측기의 일측에 장착되는 니들밸브; 상기 캐니스터의 하부에는 구비되어 질량을 측정하는 저울; 상기 캐니스터의 일측에 연결되어 열원을 공급하는 히터;로 구성되며, 니들밸브를 열고 진공장치로 일정시간 펌핑하는 1단계; 펌핑 이전의 캐니스터 질량을 저울을 이용하여 측정하고 일정시간 펌핑이후 캐니스터 질량을 측정하는 2단계; 캐니스터를 히터로 가열하여 증발시킨 후 소모된 물의 양을 계산하고, 몰질량과 몰부피를 계산하여 1분당 증발된 증기의 양을 계산하여 플로우량 단위로 환원하며, 진공장치의 압력을 측정하는 3단계; 상기 1단계 내지 3단계의 과정을 물(H2O)의 온도와 니들밸브의 구경에 따라서 압력 데이터를 정량화하는 4단계; 상기 1단계 내지 4단계에 있어서 계산된 증기의 량과 유량계측기의 값을 비교하여 정량화 테이블을 데이터화 하고 소모량과 압력으로 계산된 값의 유효성을 검증하는 5단계로 구성된다.