感光性組成物、感光性フィルム、及び永久パターン形成方法
2006
【課題】所定の高分子化合物を含むことにより、感度、解像度、無電解金メッキ耐性、及び保存安定性に優れ、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を効率よく形成可能な感光性組成物、感光性フィルム、及び前記感光性フィルムを用いた永久パターン形成方法の提供。 【解決手段】バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及びアルカリ不溶性の熱架橋剤を含み、前記バインダーが、側鎖に、ヘテロ環を含んでもよい芳香族基及びエチレン性不飽和結合を有する高分子化合物を含む感光性組成物等である。前記高分子化合物が、エチレン性不飽和結合を0.5〜3.0meq/g含有する態様、前記高分子化合物が、側鎖にカルボキシル基を有し、前記カルボキシル基の高分子化合物における含有量が、1.0〜4.0meq/gである態様、などが好ましい。 【選択図】なし
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