Electrical Conduction Through Polysilicon Oxide: Interface Texture vs. Isolated Protuberances

Etude destinee a determiner si la conduction electrique a travers la couche d'oxyde de Si est due principalement aux protuberances aigues et aux larges bosses isolees ou bien a la granulation et aux petites bosses reparties sur toute la surface. La conduction est determinee par la mesure du courant d'un microscope electronique a balayage