Hybridaktorelement und Verfahren zu seiner Herstellung

Die Erfindung betrifft ein Hybridaktorelement und ein Herstellungsverfahren dazu. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Aktorelement zur Verfugung zu stellen, das unter schwierigen Einsatzbedingungen einsetzbar ist und verbesserte aktorische Wirkungen erreicht sowie einen geringeren Energiebedarf hat. Ein erfindungsgemases Hybridaktorelement weist ein zwischen zwei Umkehrpunkten auslenkbares Element mit mindestens einem biegbaren Federarm, das mit dem/den Federarm(en) radial ausen in einer festen Einspannung gehalten ist, auf. Dabei sind am auslenkbaren Element eine Elektrode und parallel dazu an einem Gehause eine Gegenelektrode fur eine elektrostatische Auslenkung ausgebildet. An dem/den Federarm(en) ist jeweils in einer Alternative mindestens ein piezoelektrisches Element oder ein Heizelement vorhanden. In einer weiteren Alternative ist mindestens ein an zwei gegenuberliegenden Stirnseiten fest eingespannter Biegebalken, der in Richtung der Auslenkbewegung des auslenkbaren Elements verbiegbar ist, an der der Elektrode des auslenkbaren Elements ab- oder zugewandten Seite innerhalb des Gehauses angeordnet. Das auslenkbare Element und zumindest Teile des Gehauses sind aus keramischem Werkstoff und dabei aus mehreren dunnen miteinender versinterten Schichten und der/die Federarm(e) aus mindestens einer gesinterten keramischen Schicht gebildet.