圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、及び、液体移送装置

【課題】圧電層と配線部材との接合の際に、圧電層の破損及び接続不良が生じない信頼性の高い圧電アクチュエータを提供すること。 【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、圧力室４４が形成されたキャビティプレート４０（支持部材）と、キャビティプレート４０の接合部４０ａに接合された振動板６０と、振動板６０の上面に形成された圧電層６１と、圧電層６１の上面に設けられたＦＰＣ６５とを有する。圧電層６１の上面に形成された電極６２の接点部６２ａとＦＰＣ６５の端子部６５ａとが、端子部６５ａの表面に形成されたバンプ６６を介して電気的に接合されている。キャビティプレート４０の上面のうち、バンプ６６に対向する領域には、凹部６０ａが形成されている。 【選択図】図３