蒸着装置、蒸着方法、有機ｅｌ素子、及び有機ｅｌ表示装置

第１及び第２蒸着源開口（６１ａ，６１ｂ）から放出された第１及び第２蒸着粒子（９１ａ，９１ｂ）は、制限板ユニット（８０）の第１及び第２制限開口（８２ａ，８２ｂ）を通過し、蒸着マスク（７０）のマスク開口（７１）を通過して基板（１０）に付着して被膜を形成する。蒸着マスクがないと仮定した場合に第１蒸着粒子及び第２蒸着粒子が付着する基板上の領域をそれぞれ第１領域（９２ａ）及び第２領域（９２ｂ）とすると、第２領域が第１領域に包含されるように、制限板ユニットは、基板へ向かう第１蒸着粒子及び第２蒸着粒子の第１方向（１０ａ）における指向性を制限する。これにより、ドーピング法を用いた発光層を塗り分け蒸着により形成することができる。