Optischer Modulator, Display, Verwendung eines optischen Modulators und Verfahren zur Herstellung eines optischen Modulators

Optischer Modulator zum Modulieren der Intensitat und/oder Phase von einfallendem Licht mittels konstruktiver oder destruktiver Interferenz mit einer auf einem Substrat aufgebrachten Basisschicht und wenigstens einer darauf angebrachten Membranschicht, wobei zwischen der Basisschicht und der wenigstens einen Membranschicht in einem Teilbereich ein Hohlraum gebildet ist, und mit Mitteln zum Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der Membranschicht und dem Substrat zur Veranderung des Abstandes in dem durch den Hohlraum gebildeten Teilbereich zwischen der Basisschicht und der wenigstens einen Membranschicht, wobei die Basisschicht und die wenigstens eine Membranschicht aus Siliziumnitrid hergestellt sind, dadurch gekennzeichnet, dass die dem Hohlraum zuweisende Flache der Basisschicht und/oder der wenigstens einen Membranschicht in den Hohlraum hineinragende Abstandshalter aufweist.