Herstellverfahren für eine LED mit dicker Epitaxieschicht auf III-V-Halbleiterbasis und derartige LED
2003
Herstellverfahren
fur eine
LED, mit den folgenden Schritten: – Bereitstellen eines Substrats; – Herstellen
eines Musters auf einer Flache
des Substrats fur
epitaktische Zuchtung
in einem selektiven Gebiet; – Herstellen eines GaN-Dickfilms
mit einer schragen
Flache
auf dem Muster unter Verwendung eines Epitaxiezuchtungsverfahrens, wobei sich
die schrage
Flache
in naturlicher
Weise als Ergebnis der Eigenschaften von GaN bildet, und wobei die
Oberflache
des GaN-Dickfilms eine Ebene mit einer fur die Zwecke von Bauelementen
geeigneten Flache
ist; und – Herstellen
einer LED-Struktur auf dem GaN-Dickfilm, wobei die LED-Struktur uber eine
III-V-Verbindung der n-GaN-Reihe und eine III-V-Verbindung der p-GaN-Reihe verfugt und wobei
die III-V-Verbindung der p-GaN-Reihe mit einer p-Elektrode mit niedrigem
Ohmschem Kontaktwiderstand in elektrischer Verbindung steht und
die III-V-Verbindung der n-GaN-Reihe mit einer n-Elektrode mit niedrigem
Ohmschem Kontaktwiderstand in elektrischer Verbindung steht, um
fur eine
Durchlass-Vorspannung zu sorgen.
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