保持テーブル、被保持物品の処理装置、及び半導体ウェーハの処理装置

【課題】サイズや形状にかかわらず被保持物品を保持することができ、作業用の電力等を抑制し、コスト削減が可能なシンプルな構成の保持テーブル、被保持物品の処理装置、及び半導体ウェーハの処理装置を提供する。 【解決手段】バックグラインド装置１の処理台３に設けられる基台４０と、基台４０の表面に平面円形に凹み形成される窪み穴４１と、窪み穴４１を被覆して半導体ウェーハＷを着脱自在に密着保持する変形可能な保持層４３と、保持層４３に被覆された窪み穴４１内の空気を真空ポンプ４５の駆動に基づき外部に排気する排気路４４とを備える。半導体ウェーハＷの大きさに対応できるよう保持層４３の大きさを設定すれば、設定以下のサイズの半導体ウェーハＷ等をそのまま使用しても、空気がリークせず、小口径の半導体ウェーハＷをも密着し続けることができる。 【選択図】図２