Revêtement de passivation, de protection de ph ou à pouvoir lubrifiant pour conditionnement pharmaceutique, processus et appareil de revêtement

La presente invention concerne un procede permettant de former par PECVD une couche de passivation ou un revetement de protection de pH sur une surface d'un substrat. Le procede consiste a former un plasma a partir d'un reactif gazeux contenant des gaz de polymerisation, par exemple un precurseur d'organosilicium et eventuellement de l'O 2 . Les proprietes de pouvoir lubrifiant, de passivation, de protection de pH, d'hydrophobicite et/ou de barriere de la couche de passivation ou du revetement de protection de pH sont definies en definissant le rapport entre l'O 2 et le precurseur d'organosilicium dans l'alimentation en precurseur et/ou en reglant le courant electrique utilise pour former le plasma. La presente invention concerne en particulier une couche de passivation et/ou a pouvoir lubrifiant ou un revetement de protection de pH fabriques selon ledit procede.