Système de détection et d'indication d'état pour processus de fabrication optique

2015 
La presente invention concerne un systeme de detection et d'indication d'etat pour processus de fabrication optique qui est apte a utiliser des emissions optiques en provenance d'un processus de fabrication pour deduire l'etat du processus. Dans un cas, il est capable d'utiliser ces emissions optiques pour distinguer des phenomenes thermiques sur deux echelles de temps et executer une extraction de caracteristiques et un classement de sorte que des conditions nominales de processus peuvent etre distinguees de maniere unique de conditions de processus non nominales a un instant donne ou sur une serie sequentielle d'instants dans le temps se produisant sur la duree du processus de fabrication. Dans d'autres cas, il est capable d'utiliser ces emissions optiques pour obtenir les spectres correspondants et identifier des caracteristiques a l'interieur de ces spectres de sorte que des conditions nominales de processus peuvent etre distinguees de maniere unique de conditions de processus non nominales a un instant donne ou sur une serie sequentielle d'instants dans le temps se produisant sur la duree du processus de fabrication.
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