Poliervorrichtung und verfahren zum polieren einer werkstückoberfläche

Es wird eine Poliervorrichtung (1) angegeben mit einem Werkzeughalter (3), an dem ein Polierwerkzeug angeordnet ist und der mit einem Werkstuckhalter (5) zusammenwirkt, wobei der Werkstuckhalter (5) und der Werkzeughalter (3) relativ zueinander in eine erste Richtung und eine sich von der ersten Richtung unterscheidenden zweiten Richtung bewegbar sind. Man mochte einen Poliervorgang zumindest teilweise reproduzierbar und dokumentierbar machen konnen. Hierzu ist vorgesehen, dass der Werkzeughalter (3) in eine dritte Richtung (20), die senkrecht zur ersten Richtung (9) und zur zweiten Richtung (10, 12) steht, federnd ausgebildet ist.