Substrathalter für scheiben-oder plattenförmige Substrate und Vakuumbehandlungsanlage mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung

Es wird ein Substrathalter fur scheiben- oder plattenformige Substrate vorgeschlagen, der eine Grundstruktur mit mindestens einer Substrataufnahme umfasst, die Aufnahmemittel fur mindestens ein Substrat aufweist, und der weiterhin ein unteres Fuhrungselement und ein oberes Fuhrungselement umfasst, wobei an der Grundstruktur mindestens ein Blendenelement so angeordnet ist, dass es ein Fuhrungselement vollstandig bedeckt. Bei einer Vakuumbehandlungsanlage mit mindestens einer Behandlungseinrichtung und mit einer vertikalen Substrattransporteinrichtung fur scheiben- oder plattenformige Substrate, die einen Substrathalter der oben beschriebenen Art, eine Stutzeinrichtung zur Stutzung des unteren Fuhrungselements des Substrathalters und eine Fuhrungseinrichtung zur Fuhrung des oberen Fuhrungselements des Substrathalters, ist das Blendenelement des Substrathalters so angeordnet, dass es die Stutzeinrichtung oder die Fuhrungseinrichtung von der Behandlungseinrichtung aus gesehen zumindest teilweise bedeckt.