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高能率鏡面研磨用砥粒(MeCCA)の開発:~サファイアに対する湿式研磨性能およびウェーハ品質評価~
高能率鏡面研磨用砥粒(MeCCA)の開発:~サファイアに対する湿式研磨性能およびウェーハ品質評価~
2019
tosikazu fuzimoto
satu ten sinozaki
youhei yamada
jun'iti ikeno
tokizi simamoto
Keywords:
Sapphire
Optoelectronics
Materials science
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