Integrateur optique, dispositif d'eclairage optique et appareil et procede d'exposition

L'invention concerne un integrateur optique dont la propriete est de diminuer l'influence de la variation de fabrication concernant plusieurs petites surfaces de refraction formees par exemple, par gravure sur une distribution d'eclairage. L'integrateur optique (8) comprend plusieurs premieres petites surfaces de refraction (80a) integrees et plusieurs secondes petites surfaces (80b) integrees, avec un parametre β exprime par la relation β = (Ϝ - 1)3 * NA2/Δn2 satisfaisant a la condition |β| < 0,2, et dans laquelle Ϝ represente le rapport φa/φb de la puissance de refraction φa des premieres petites surfaces de refraction et de la puissance de refraction φb des secondes petites surfaces de refraction, NA represente l'ouverture numerique du cote sortie de l'integrateur optique, et Δn represente la difference d'indice de refraction du milieu entre les cotes d'entree et de sortie de rayonnement lumineux des secondes petites surfaces de refraction.