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논문 : 반도체 ; 실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
논문 : 반도체 ; 실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성
2004
이우선
고필주
이영식 ( Lee Yeong Sig )
서용진 ( Seo Yong Jin )
홍광준
Keywords:
Chemical engineering
Chemical-mechanical planarization
Slurry
Materials science
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