The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

Pengaruh temperature pre-annealing terhadap struktur lapisan tipis ZnO yang dideposisi dengan metode Sol-Gel (spin coating) telah diteliti. Lapisan tipis ZnO dideposisi di atas substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2 cm. Pembuatan prekursor dilakukan dengan melarutkan ZnAc dengan pelarut etanol dan dietilene glikol (DEG). Proses deposisi precursor di atas substrat dilakukan dengan cara penetesan, kemudian diputar selama 20 detik dengan menggunakan spinner. Proses pre-annealing dilakukan selama 1 jam, dengan variasi temperatur 1500C, 2000C, dan 2500C. Selanjutnya dilakukan proses annealing pada temperatur 6000C selama 1 jam. Struktur mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO diuji masing-masing dengan menggunakan XRD dan AFM. Hasil penelitian menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO yang ditumbuhkan memiliki struktur heksagonal dengan parameter kisi a = 3,252 b = 3,253 c = 5,209 (c/a = 1,601). Temperatur pre-annealing mempengaruhi struktur mikro dan topografi permukaan lapisan tipis ZnO.