Procédé de production d'un cristal de nitrure du groupe iii et appareil associé
2015
L'objet de cette invention est de produire, par epitaxie en phase vapeur, des cristaux de nitrure du groupe III de grande taille, et de qualite elevee contenant des quantites negligeables de defauts de type deformation, dislocation, gauchissement, et autres. Le procede de production selon l'invention est caracterise en ce qu'il comprend une premiere etape de production de cristaux de nitrure du groupe III pour obtenir des premiers cristaux de nitrure du groupe III (1003) par epitaxie en phase liquide, et une seconde etape de production de cristaux de nitrure du groupe III consistant a faire reagir un metal elementaire du groupe III, un oxydant, et un gaz contenant de l'azote par epitaxie en phase vapeur sur les premiers cristaux (1003), pour obtenir des seconds cristaux de nitrure du groupe III (1004). La premiere etape de production de cristaux de nitrure du groupe III implique la mise en contact des surfaces d'une pluralite de germes de nitrure du groupe III (1003a) prepares a l'avance avec une masse fondue de metal alcalin, et dans un environnement contenant de l'azote, la reaction d'un element du groupe III et de l'azote dans la masse fondue de metal alcalin pour faire croitre une pluralite de cristaux de nitrure de groupe III a partir de la pluralite de germes (1003a), pour incorporer ainsi la pluralite de cristaux de nitrure du groupe III dans les premiers cristaux (1003).
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