微細加工プラットフォーム「ナノサイズトランジスタおよびMEMSを基盤とする複合機能デバイス研究支援」 (ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開 : ベンチャー､中小から大企業まで(第3回))