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O₂ RTA 방법으로 제조된 Ta₂O 5-x 박막의 전기적 특성
O₂ RTA 방법으로 제조된 Ta₂O 5-x 박막의 전기적 특성
2002
Yinxing Jin
songzaicheng
Wenzhu Yin
Puzheng Hou
Keywords:
Speech recognition
Engineering
Crystallography
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