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Acemap > Paper > 21412 除振テーブルの弾性モードを考慮したアクティブ微振動制御に関する研究 : その1 システム概要と制御手法

21412 除振テーブルの弾性モードを考慮したアクティブ微振動制御に関する研究 : その1 システム概要と制御手法

1995 
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