感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、プリント配線板の製造方法、及びプリント配線

2011 
【課題】直接描画法で露光した場合に、高感度、優れたテント信頼性及び良好な剥離性を有する感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有し、前記(C)光重合開始剤が、下記一般式(I)で表される化合物を含む。上記一般式(I)中、R 1 は、炭素数3〜20のシクロアルキル基を含む有機基を示し、R 2 及びR 3 は、各々独立にアルキル基又はアリール基を示し、R 4 は、アルキル基を示す。 【化1】 【選択図】なし
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