金属酸化物含有膜形成用組成物、金属酸化物含有膜、金属酸化物含有膜形成基板及びこれを用いたパターン形成方法

【解決手段】(A)式(1)の化合物と式(2)の化合物との加水分解縮合で得られる金属酸化物含有化合物、 Ｒ 1 m1 Ｒ 2 m2 Ｒ 3 m3 Ｓｉ(ＯＲ) (4-m1-m2-m3) (1) (Ｒはアルキル基、Ｒ 1 〜Ｒ 3 はＨ又は１価有機基、m1〜m3は０又は１。m1＋m2＋m3は０〜３。) Ｕ(ＯＲ 4 ) m4 (ＯＲ 5 ) m5 (2) (Ｒ 4 、Ｒ 5 は有機基、m4、m5は０以上の整数、Ｕは周期律表のＩＩＩ〜Ｖ族の元素。) (B)式(3)又は(4)の化合物、 Ｌ a Ｈ b Ｘ (3) (ＬはＬｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ又はＣｓ、Ｘは水酸基又は有機酸基、ａは１以上、ｂは０又は１以上の整数、ａ＋ｂは水酸基又は有機酸基の価数。) Ｍ a Ｈ b Ａ (4) (Ｍはスルホニウム、ヨードニウム又はアンモニウム、ＡはＸ又は非求核性対向イオン、ａは１以上、ｂは０又は１以上の整数。) (C)有機酸、 (D)有機溶剤 を含む熱硬化性金属酸化物含有膜形成用組成物。 【効果】本発明組成物で形成された金属酸化物含有中間膜を用いることで、良好なパターン形成ができる。 【選択図】なし