Amélioration du coefficient de qualité de résonateurs à ondes transverses sur plaques fines de quartz

Resume Des resonateurs a ondes elastiques transverses sur plaque fine de quartz ont ete optimises grâce a une etape de fabrication specifique dans le but d'ameliorer leur coefficient de qualite et de minimiser leurs pertes d'insertion. Des mesures systematiques ont ete effectuees, mettant en evidence l'efficacite de l'approche proposee. On montre ainsi la possibilite de fabriquer des resonateurs fonctionnant dans la gamme de frequence 100–250 MHz et presentant des produits coefficients de qualite — frequence nettement superieurs a 10 13 , ce qui correspond a depasser l'etat de l'art des resonateurs a ondes de surface.