Commande de polarisation d'énergie ionique à large plage dynamique ; commutation rapide d'énergie ionique ; commande d'énergie ionique et alimentation de polarisation pulsée ; et panneau avant virtuel

L'invention concerne des systemes, des procedes, et un appareil pour le fonctionnement d'une chambre de traitement par plasma. En particulier, une fonction de tension periodique combinee avec une compensation de courant ionique peut etre fournie en tant que polarisation vers un support de substrat servant de fonction de tension periodique modifiee. Ceci affecte en retour une polarisation en courant continu sur la surface du substrat qui commande une energie ionique d'ions incidents sur une surface du substrat. Une tension de pic a pic de la fonction de tension periodique peut commander l'energie ionique, alors que la compensation de courant ionique peut commander une largeur d'une fonction de distribution d'energie ionique des ions. La mesure de la fonction de tension periodique modifiee peut fournir un moyen pour calculer un courant ionique dans le plasma et une capacite de gaine de la gaine plasma. La fonction de distribution d'energie ionique peut etre ajustee et de multiples pics d'energie ionique peuvent etre generes, par commande de la fonction de tension periodique modifiee.