Appareil de fabrication de cellules solaires, et procédé de fabrication de cellules solaires

La presente invention concerne un appareil de fabrication de cellules solaires, ainsi qu'un procede de fabrication de cellules solaires permettant une productivite elevee associee a un faible cout. L'appareil de fabrication de cellules solaires comprend : un sas de charge (2), comportant un substrat (S) y entrant et en sortant en realisant un basculement entre une atmosphere ambiante et une atmosphere sous vide ; une chambre de traitement (4), dans laquelle sont introduits des ions d'impurete pour former une jonction pn, dans l'atmosphere sous vide, dans le substrat (S) pour cellule solaire ; et une chambre de transfert (1), dotee d'un moyen de transfert integre (6), qui transfere le substrat (S) entre le sas de charge (2) et la chambre de traitement (4). Les ions d'impurete sont introduits en soumettant les ions d'impurete au rayonnement d'un canon ionique (5), le canon ionique (5) etant place de facon a ce que le panneau a grille (52), c'est-a-dire la surface de rayonnement ionique du canon ionique, se trouve en face du substrat (S) transfere vers la chambre de traitement (4).