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A131 大規模分子動力学を用いた集束イオンビームにおけるナノ領域スパッタリング(マイクロ・ナノスケール3)
A131 大規模分子動力学を用いた集束イオンビームにおけるナノ領域スパッタリング(マイクロ・ナノスケール3)
2006
sin'iti satake
nae tuti onore inoue
atusi taniguti
masahiko sibahara
tomoyuki tutida
yukiko omata
Keywords:
Ion beam
Molecular dynamics
Analytical chemistry
Focused ion beam
Materials science
Sputtering
Atomic physics
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