退火工艺对0.9Al_2O3-0.1TiO_2微波介质陶瓷性能与结构的影响

采用反应烧结法制备0.9Al_2O3-0.1TiO_2微波介质陶瓷，研究了退火时间，退火气氛对其物相组成、显微结构、微波介电性能的影响。结果表明：Sk过退火后，第二相A_2TiO_5分解，陶瓷的表面规整，致密度高；延长退火时间以及合适的退火气氛可以有效地提高0.9Al_2O3-0.1TiO_2陶瓷的Q×f值。在空气气氛下，1350℃烧结4h，氧气气氛下1100℃退火20h的0.9Al_2O3-0.1TiO_2微波介质陶瓷具备优异的介电性能：er=12．50，Q×f=79812GHz，Tf=0．13ppm／℃。