レーザ照明光学系及びそれを用いた露光装置、レーザ加工装置、投射装置

(57)【要約】 【課題】レーザアレイ光源を用いたレーザ照明光学系に おいて、レーザアレイ光源のアレイ垂直方向の光束に起 因する干渉縞を減らし、照度の均一化を図る。 【解決手段】本発明は、少なくともレーザアレイ光源１ １と、ホログラム素子１２で構成されるレーザ照明光学 系であって、レーザアレイ光源１１のアレイ方向と垂直 な光束成分がホログラム素子１２によってガウシアンプ ロファイルから均一強度の光束に変換され、被照射部１ ３上で各レーザ光束のアレイ方向に平行な光束成分がピ ーク強度の１／ｅ ２ 倍となる距離をＷとすると、各レー ザ光束の被照射部でのプロファイルのピッチＰが、０＜ Ｐ≦Ｗの条件を満たすように、隣接する光束を重ね合わ せることを特徴としており、レーザアレイ光源のアレイ 垂直方向の光束を変調ピッチのホログラム素子でビーム プロファイルを変換させるため、被照射部で干渉縞が発 生しにくく、照明性能が良くなる。