Syntonisation de propriétés de film liquide à l'aide d'implantation

Des especes sont fournies a une couche liquide au-dessus d'un substrat. Une propriete de la couche liquide est modifiee par l'implantation des especes dans la couche liquide. La propriete comprend une densite, une contrainte, un retrait de film, une selectivite de gravure, ou n'importe quelle combinaison de ceux-ci.