基板バッファ装置、基板バッファリング方法、基板処理装置、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体

【課題】 基板が大型であっても、安全性に優れ、かつ、パーティクルの飛散を回避できるとともに、スループットの向上を図れ、しかも、退避させた複数の基板を所望の順序で再び搬送ラインに進出させることができる基板バッファ装置を提供する。 【解決手段】 基板バッファ装置３６は、搬送ラインＡに進出可能で、かつ搬送ラインＡを搬送された基板Ｇを載置可能な載置台５ａ〜５ｆを上下に複数段有する棚部５と、棚部５を昇降させて載置台５ａ〜５ｆのいずれかを搬送ラインＡに進出させる昇降機構６とを具備し、各載置台５ａ〜５ｆは、搬送ラインＡに進出した際に、基板Ｇを搬送方向に沿って搬送するコンベヤ機構５０ａ〜５０ｆを有して搬送ラインＡの一部として機能し、搬送ラインＡに進出している載置台５ａに搬送ラインＡを搬送されてきた基板Ｇを載置し、昇降機構６により棚部５が昇降して基板Ｇを載置台５ａごと搬送ラインＡから退避させる。 【選択図】 図８