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統合包装設計を用いたウエハレベルカプセル化したCMOS MEMS熱抵抗熱量流量センサ【Powered by NICT】
統合包装設計を用いたウエハレベルカプセル化したCMOS MEMS熱抵抗熱量流量センサ【Powered by NICT】
2017
Xu Wei
Gao Bo
Ahmed Moaaz
Duan Mingzheng
Wang Bo
Mohamad Saqib
Bermak Amine
Lee Yi-Kuen
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