Utilisation du diagramme des phases condensées du système In-P-S pour l'analyse de la composition des couches de sulfures natifs formées sur InP

Resume Dans cet article, on montre que l'utilisation du diagramme des phases condensees du systeme In-P-S explique la composition des couches de sulfures natifs se formant sur InP. La sulfuration thermique conduit a une composition de couches qui est en accord avec le diagramme de phases. Au contraire, la sulfuration assistee par plasma conduit a une composition des couches qui est en desaccord avec celui-ci. Toutefois, dans ce dernier cas, on peut supposer l'existence de reactions, entre les phases formees et InP, predites par le diagramme et qui dependent de la temperature du substrat InP.