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アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第2報) : 超高圧力・高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命に及ぼすポリシャ表面構造の影響
アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第2報) : 超高圧力・高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命に及ぼすポリシャ表面構造の影響
2008
kanta yamaguti
heizi yasui
seizi matukawa
takuya niki
masataka takagi
Keywords:
Metallurgy
Materials science
surface smoothness
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