C原子在金刚石（100）和（111）面的低能沉积

利用分子动力学模拟研究了低于室温下低能C原子碰撞金刚石（100）和（111）面的微观过程．模拟中采用Brenner导出的多体参数化势．并采用Langevin分子动力学方法模拟系统的退火过程．结果表明，在100K温度下，当入射C原子能量降至0.leV时，易于在（111）面生长近完美的金刚石单层．时（100）面，需更高的能量形成类金刚石SP^3杂化结构．