回折光学素子、回折光学素子成形用金型、回折光学素子の切削加工方法、回折光学素子成形用金型の切削加工方法、及び切削加工装置
2002
【課題】凹凸パターンの形成密度が非一様であっても高い光学性能の得られる回折光学素子を提供する。 【解決手段】凹凸パターンが非一様な密度で形成された回折面10cを有する回折光学素子10において、形成密度の低い凹凸パターン10c−1ほどその凹凸パターンの平滑部の表面粗さを小さくする。これは、回折光学素子の原型、又はその成形用金型の切削加工時、先端径の異なる複数種のバイトを、凹凸パターンの形成密度に応じて選択使用することにより実現する。 【選択図】 図1
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