電子プローブX線マイクロアナライザーによる簡易・迅速・局所X線吸収スペクトル測定

EPMAを用いて1μm2の局所のX線吸収スペクトルを15分程度の時間で測定する方法について述べる.実例として,マグネシウムのK吸収端スペクトルをMgOについて測定した例を,シンクロトロン放射光を用いて測定したスペクトルと比較して示す.