Vom IC zum Mikrosystem

Die zweite Silizium-Revolution bright zusatzlich zu den hochstintegrierten Informationsverarbeitungssystemen der Mikroelektronik nichtelektrische Funktionalitat auf den gleichen Chip. Chips, die fuhlen, denken, agieren und kommunizieren, stehen an der Schwelle einer beginnenden Invasion in alle Lebensbereiche. Der Ruckgriff auf die bewahrten, kostengunstigen Produktionstechnologien und Fertigungsstatten der Mikroelektronik hat sich als wichtigster Weg bei der breiten Markteinfuhrung der Mikrosystemtechnik erwiesen. Jedoch ist eine Erweiterung der mikroelektronischen Technologien unumganglich.