MEMS sensor with functional testing

Die Erfindung beschreibt einen MEMS-Sensor (1) zur Messung einer Messgrose, insbesondere der Dichte und/oder der Viskositat, eines stromenden Messmediums in einem Messkanal (2), mit einer Funktionsuberprufung, umfassend: – einen Biegebalken (3), welcher im Wesentlichen parallel zur Stromungsrichtung des Messmediums positioniert ist, wobei der zweite Endbereich des Biegebalkens freischwingend ist und ein Flugelelement (33) aufweist, welches so ausgestaltet ist, dass bei Durchstromen des Flugelelements (33) mit dem Messmedium eine auf den zweiten Endbereich wirkende, zur Stromungsrichtung orthogonale Kraft (F) erzeugt wird, welche zu einer Durchbiegung des Biegebalkens (3) fuhrt; – ein erstes und ein zweites Kontaktpad (31, 32), wobei das erste Kontaktpad (31) an dem zweiten Endbereich des Biegebalkens angebracht ist, und wobei das zweite Kontaktpad (32) derart an einem Bereich der Innenflache (42) der Kanalwand (4) angebracht ist, dass dieses dem ersten elektrischen Kontaktpad (31) gegenuberliegt, und dass bei der Durchbiegung des Biegebalkens (3) ein Kontakt des ersten elektrischen Kontaktpads (31) mit dem zweiten elektrischen Kontaktpad (32) entsteht; – ein drittes und ein viertes elektrisches Kontaktpad (5, 6) zum Anschluss einer elektrischen Schaltung (S), wobei das dritte und das vierte Kontaktpad (5, 6) elektrischen Leitungen (51) mit dem zweiten Kontaktpad (32), bzw. dem ersten Kontaktpad (31) verbunden ist, wobei die elektrische Schaltung (S) zwischen dem dritten und dem vierten Kontaktpad (5, 6) eine elektrische Spannung anlegt, und wobei die Schaltung (S) uberpruft, ob zwischen dem dritten und dem vierten Kontaktpad (5, 6) ein elektrischer Strom fliest, und erkennt, ob der Messkanal (2) von dem Messmedium durchstromt wird oder nicht.